ভ্রমণ পরিসীমা
20 মিমি
রেজোলিউশন
0.125μm
পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা
＜1μm
সরলতা
＜2μm
সমান্তরালতা
＜5μm
পিচিং
10″(50μrad)
হাওয়া
সর্বোচ্চ গতি
5 মিমি/সেকেন্ড
ধারণ ক্ষমতা
10 কেজি
ওজন
1.5 কেজি
